WEKO3
アイテム / Heat flux distribution on a substrate in capacitively coupled radio-frequency discharges / apl-v80i9p1526-1528
apl-v80i9p1526-1528
| ファイル | ライセンス |
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 apl-v80i9p1526-1528.pdf (2.5 MB)
sha256
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| 公開日 | 2016-11-14 | |||||
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| ファイル名 | apl-v80i9p1526-1528.pdf | |||||
| 本文URL | https://iwate-u.repo.nii.ac.jp/record/10240/files/apl-v80i9p1526-1528.pdf | |||||
| ラベル | apl-v80i9p1526-1528.pdf | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 2.5 MB | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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