| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2009-10-16 |
| タイトル |
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タイトル |
RF放電プラズマによる基板の温度上昇 |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
プラズマプロセス |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
RF放電 |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
基板温度 |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
複屈折 |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
レーザ干渉 |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
熱流束 |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
高木, 浩一
佐山, 国央
高橋, 淳
藤原, 民也
永田, 雅克
小野, 幹幸
Muaffaq, Achmad Jani
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| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
60957 |
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姓名 |
Takaki, Koichi |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
60958 |
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姓名 |
Sayama, Kunio |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
60959 |
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姓名 |
Takahashi, Atsushi |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
60960 |
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姓名 |
Fujiwara, Tamiya |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
60961 |
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姓名 |
Nagata, Masayuki |
| 著者別名 |
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識別子Scheme |
WEKO |
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識別子 |
60962 |
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姓名 |
Ono, Motoyuki |
| 著者(機関) |
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値 |
岩手大学 |
| 著者(機関) |
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値 |
岩手大学 |
| 著者(機関) |
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値 |
岩手大学 |
| 著者(機関) |
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値 |
岩手大学 |
| 著者(機関) |
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値 |
フジクラ |
| 著者(機関) |
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値 |
フジクラ |
| 著者(機関) |
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値 |
岩手大学 |
| 登録日 |
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日付 |
2009-10-16 |
| 書誌情報 |
電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌
巻 117,
号 11,
p. 1077-1083,
発行日 1997-01-01
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0385-4205 |
| Abstract |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Temperature rises of a birefringent substrate (LiNbO3) have been measured in an argon RF discharge plasma. The measurement method is based on monitoring the variation of natural birefringence with temperature by laser interferometry. Using this method, the dependence of substrate temperature rise on applied RF power and gas pressure has been investigated. The evaluation of the temperature curves shows that heat flux from the plasma towards the substrate is independent of time and temperature. The magnitude of the flux differs largely from the applied power, and approximately 0.4‰ of the power. By measuring electron density, electron temperature and plasma potential with Langmuir probe, the energy of the ions incident on the substrate is estimated. The ion flux towards the substrate is calculated from the energy of ions and is compared with the measured heat flux. The dependence on the applied power is in approximate agreement between those fluxes. The temperature distribution over the substrate thickness is simulated numerically using the finite difference method. |
| 出版者 |
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出版者 |
電気学会 |
| 権利 |
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権利情報 |
Copyright© 電気学会 |
| 権利URI |
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権利情報 |
http://www.iee.or.jp/ |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
tieeja-v117n11p1077-1083.pdf (1.8 MB)
