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パルスグロー放電を用いた大容量高密度プラズマの生成
https://iwate-u.repo.nii.ac.jp/records/9826
https://iwate-u.repo.nii.ac.jp/records/982690b3907b-e858-4c68-a7ab-2980ceb1d47e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
tieeja-v119n4p531-532.pdf (865.6 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-10-16 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | パルスグロー放電を用いた大容量高密度プラズマの生成 | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | 過渡グロー放電 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | 異常グロー放電 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | プラズマ | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | グロー放電 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | パルスパワー | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||
| 著者 |
高木, 浩一
× 高木, 浩一
× 北村, 大介
× 藤原, 民也
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| 著者別名 | ||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||
| 識別子 | 60997 | |||||||||||
| 姓名 | Takaki, Koichi | |||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||
| 識別子 | 60998 | |||||||||||
| 姓名 | Kitamura, Daisuke | |||||||||||
| 著者別名 | ||||||||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||||||||
| 識別子 | 60999 | |||||||||||
| 姓名 | Fujiwara, Tamiya | |||||||||||
| 著者(機関) | ||||||||||||
| 値 | 岩手大学 | |||||||||||
| 登録日 | ||||||||||||
| 日付 | 2009-10-16 | |||||||||||
| 書誌情報 |
電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 巻 119, 号 4, p. 531-532, 発行日 1999-01-01 |
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| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 0385-4205 | |||||||||||
| Abstract | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 1989年にウイスコンシン大学のコンラッド博士により 提案されたPSII(Plasma Source Ion Implantation)は,三次元形状物にもイオン注入が可能なことから,多くの機関で研究開発が試みられている(1)-(3)。PSIIには大容積・高密度プラズマが必要となる。コンデンサに接続したギャップなどで起こるパルスグロー放電では,短時間ではあるが大容積のプラズマが発生するため,イオンソースとしての応用が期待されている(3)、(4)。パルスグロー放電に関する報告は,過渡グロー放電を対象に,電流密度が正規グローの理論値とほぼ一致するなどが報告されている(5)-(8)。しかしこれらの放電電流は数Aから数十Aオーダと小さい。イオンソースとして利用するためには,プラズマの更なる高密度化が望まれる。本研究は,放電回路を同軸形状として回路インダクタンスを減らし,かつ回路抵抗を小さくすることで,パルスグロー放電を異常グロー領域で生成した。ここでは,その大電流パルスグロー放電の特性について述べる。 |
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| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 電気学会 | |||||||||||
| 権利 | ||||||||||||
| 権利情報 | Copyright© 電気学会 | |||||||||||
| 権利URI | ||||||||||||
| 権利情報 | http://www.iee.or.jp/ | |||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
